半導体製造装置 荷捌き場用リフトテーブル

業界 | 半導体製造機械組立 | 用途 | 荷捌き場(トラックと建物の段差解消) |
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テーブル サイズ |
4,000㎜×6,000㎜ | 積載荷重 | 10,000㎏ |
ストローク | 1500㎜ | 型式 | KTL-15100-30-3 |
特注範囲 | 大型テーブル仕様、 | ||
課題 | 埋め込み、超大型、沈み込み回避、作業性・生産性向上 |
お客様の課題
半導体製造装置組立工場にて、荷捌き場で使用するリフトテーブルを導入したいとご要望を頂きました。トラックヤードからトラックに装置を積み込むためにリフトテーブルを使用したいとのことでしたが、お客様には以下の課題がありました。
①半導体製造装置であり、装置に傾斜をかけるのはNGである。そのため、プラットホームとトラックの段差を解消するためにドックレベラーは使用できず、他の方法を採用する必要がある。
②リフトテーブルを使用する場合、有効スペースが限られているため、油圧ユニット、制御盤は別置きにせず、最小限のスペースで設置できるようにする。
③メンテナンス、点検が必要な場合に、油圧ユニット等のメンテナンス対象にアクセスしやすいような仕様にする。
これらの課題をヒアリングさせて頂き、お客様の課題を解決できる提案を行った当社を選定頂きました。
提案内容・導入効果
今回、半導体製造装置のサイズを考慮し、テーブルサイズはW4,000mm×L6,000mmとています。大型であるため分割して輸送し、納入場所にて組み立て作業を行っています。
装置重量が重く、積載荷重は10tのリフトテーブルを選定しています。
①の課題について、荷受け場にピットを掘り、埋め込み式のリフトテーブルを設置し、プラットホームとトラックのレベルを合わせることを提案しました。埋め込み、設置作業についても当社にて一貫して行っています。
②の課題では、ピット内に油圧ユニット、制御盤を設置する仕様を採用しました。別置きとせず天板下に設置することで、省スペース化を実現しています。
③についてですが、天板下に油圧ユニット、制御盤を設置することにより、メンテナンス・点検時のアクセス性が低下してしまうことが懸念されていましたが、テーブルの一部を取り外しできるようにビス止め仕様とし、また点検口を設けることで回避しています。
その他、機上をフォークリフトが通過するため、沈み込み防止と本体へのダメージ軽減のため、下限アジャストストッパーを取付るという、カスタム仕様にて納入させて頂きました。細部までお客様のご要望にお応えできるように提案を行った点を、評価頂いた事例となります。
リフトテーブル ソリューションナビを運営する株式会社河原は、当事例のように、埋め込み式リフトテーブルの開発・製作を行うことが可能です。作業性・安全性を考慮し、最適な提案を行いますので、お気軽に当社にご相談ください。
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